他们发现,五层石墨烯的莫尔排列(每层碳原子晶格排列在另一层和氮化硼上)引发了一个微弱的电势。当电子穿过这一电势时,它们形成了一种晶体,即周期性的排列,这种晶体限制了电子的运动,并迫使它们通过量子关联相互作用。这种电子之间的“拉锯战”形成了一种可能的物 ...
近日,恩特格里斯公司在国家知识产权局申请了一项具有电荷耗散涂层的静电卡盘专利,并于2024年11月13日正式获得授权。这一创新产品的推出,不仅为静电控制领域带来了新的技术突破,也为现代智能制造和半导体产业的发展提供了有力的技术支持。 该静电卡盘的核心特性在于其电荷耗散涂层。这一涂层设计旨在有效控制和管理电子元件和材料在制造过程中可能产生的静电。这对于任何涉及细致成品处理和清洁室环境的领域都至关重要 ...
2024年11月13日,恩特格里斯公司(Entegris)获得了一项名为“具有电荷耗散涂层的静电卡盘”的专利(公告号CN113056816B)。该专利的申请日期为2019年11月,标志着恩特格里斯在半导体制造领域中的又一创新突破。这项新技术的推出,对于提升电子元件的生产效率和产品质量具有重要影响。 静电卡盘作为半导体制造过程中的关键设备,负责在晶圆处理过程中稳定地支撑和定位晶圆。晶圆在制造过程中会 ...